RU
Каталог

КМОП-структура с полимерным затвором

Продаж: 2
Возвратов: 0

Загружен: 13.03.2009
Содержимое: 90313194940913.exe (1125,16 Кбайт)

Описание товара

Разработка технологии изготовления ИМС на основе КМОП-структур с поли-кремниевыми затворами
СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ………………………………………………………………………..3

1 КОНСТРУКЦИЯ КМОП-ТРАНЗИСТОРА С ПОЛИКРЕМНИЕВЫМ ЗА-ТВОРОМ…………………………………………………………………………..4

2 ОБЗОР СОВРЕМЕННЫХ ТЕХНИЧЕСКИХ РЕШЕНИЙ ПРОИЗВОДСТВА МИКРОСХЕМ…………………………………………………………………….5
2.1 Операции литографии………………………………………………..5
2.1.1 Сушка резиста……………………………………………………...7
2.1.2 Совмещение рисунка шаблона……………………………………9
2.1.3 Экспонирование и проявление……………………………………9
2.1.4 Травление…………………………………………………………10
2.2 Виды литографии…………………………………………………….17
2.2.1 Фотолитография…………………………………………………..17
2.2.1.1 Контактная литография……………………………………….17
2.2.1.2 Проекционная литография……………………………………17
2.2.1.3 Голографическая литография………………………………...19
2.2.2 Рентгеновская литография……………………………………….20
2.2.3 Электронная литография…………………………………………23
2.2.4 Ионно-лучевая литография………………………………………26
2.3 Методы диффузии…………………………………………………...26
2.3.1 Термическая диффузия…………………………………………..26
2.3.2 Ионная имплантация……………………………………………..30
2.4 Нанесение тонких диэлектрических пленок……………………….32
2.4.1 Термическое окисление…………………………………………..32
2.4.2 Плазмохимическое осаждение пленок окисла………………….33
2.4.3 Химическое осаждение из газовой фазы………………………..33
2.5 Нанесение металлических пленок…………………………………..34
2.5.1 Метод термовакуумного напыления…………………………….34
2.5.2 Метод ионно-плазменного распыления…………………………35

3 ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТЬ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОПЕРАЦИЙ ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ КМОП-СТРУКТУР С ПОЛИКРЕМНИЕВЫМИ ЗАТВО-РАМИ……………………………………………………………………………..36

ЗАКЛЮЧЕНИЕ………………………………………………………………….40

СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ………………………………...41

Отзывы

0
Отзывов от покупателей не поступало.
За последние
1 мес 3 мес 12 мес
0 0 0
0 0 0
В целях противодействия нарушению авторских прав и права собственности, а также исключения необоснованных обвинений в адрес администрации сайта о пособничестве такому нарушению, администрация торговой площадки Plati (http://www.plati.com) обращается к Вам с просьбой - в случае обнаружения нарушений на торговой площадке Plati, незамедлительно информировать нас по адресу support@plati.com о факте такого нарушения и предоставить нам достоверную информацию, подтверждающую Ваши авторские права или права собственности. В письме обязательно укажите ваши контактные реквизиты (Ф.И.О., телефон).

В целях исключения необоснованных и заведомо ложных сообщений о фактах нарушения указанных прав, администрация будет отказывать в предоставлении услуг на торговой площадке Plati, только после получения от Вас письменных заявлений о нарушении с приложением копий документов, подтверждающих ваши авторские права или права собственности, по адресу: 123007, г. Москва, Малый Калужский пер. д.4, стр.3, Адвокатский кабинет «АКАР №380».

В целях оперативного реагирования на нарушения Ваших прав и необходимости блокировки действий недобросовестных продавцов, Plati просит Вас направить заверенную телеграмму, которая будет являться основанием для блокировки действий продавца, указанная телеграмма должна содержать указание: вида нарушенных прав, подтверждения ваших прав и ваши контактные данные (организиционно-правовую форму лица, Ф.И.О.). Блокировка будет снята по истечение 15 дней, в случае непредставления Вами в Адвокатский кабинет письменных документов подтверждающих ваши авторские права или права собственности.

Партнерам: 0,05 $ — как заработать
Оплатить с помощью:
с "Правилами покупки товаров" ознакомлен и согласен